潔凈室各項(xiàng)指標(biāo)的檢測(cè)方法、程序法則、判定標(biāo)準(zhǔn)

潔凈室的檢測(cè)主要分為：

一、風(fēng)量和風(fēng)速的檢測(cè)

二、靜壓差的檢測(cè)

三、潔凈度的測(cè)定

四、微生物粒子的檢測(cè)  

五、安裝高效空氣過(guò)濾器后的檢漏

六、污染泄露測(cè)試

七、氣流流型試驗(yàn)

八、自凈時(shí)間測(cè)定  

九、溫度及相對(duì)濕度檢測(cè)

十、照度檢測(cè)

十一、 噪聲檢測(cè)  

十二、 防靜電地面導(dǎo)電性能測(cè)定  

一、風(fēng)量和風(fēng)速的檢測(cè)  風(fēng)量和風(fēng)速的檢測(cè)必須首先進(jìn)行，凈化空調(diào)的各項(xiàng)效果必須是在設(shè)計(jì)風(fēng)量和風(fēng)速的條件下獲得。

1. 測(cè)前準(zhǔn)備工作  風(fēng)量檢測(cè)前必須檢查風(fēng)機(jī)運(yùn)行是否正常，系統(tǒng)中各部件安裝是否正確，有無(wú)障礙（如過(guò)濾器有無(wú)被堵、檔），所有閥門應(yīng)固定在一定的開啟位置上，并且必須實(shí)際測(cè)量被測(cè)風(fēng)口、風(fēng)管尺寸。  

2. 單向流潔凈室的風(fēng)量測(cè)量  垂直單向流及水平單向流潔凈室，目前均采用截面平均風(fēng)速與截面面積的成績(jī)計(jì)算風(fēng)量，關(guān)于截面的取法和測(cè)點(diǎn)的布置如下表

3．非單向流（亂流）潔凈室的風(fēng)量測(cè)定：  非單向流（亂流）潔凈室的風(fēng)量可以用風(fēng)管法和風(fēng)口法兩種方法測(cè)量，關(guān)于截面取法和測(cè)點(diǎn)布置見(jiàn)下表

測(cè)量注意事項(xiàng)：在測(cè)量風(fēng)速時(shí)宜采用支架固定測(cè)夾；不得不用手持風(fēng)速儀時(shí)，手臂要盡量伸直使測(cè)頭遠(yuǎn)離身體（側(cè)方或下游）以減少人身干擾。

評(píng)定：a．系統(tǒng)的實(shí)測(cè)風(fēng)量應(yīng)大于各自的設(shè)計(jì)風(fēng)量，但不應(yīng)超過(guò)20%。        

       b．總實(shí)測(cè)新風(fēng)量和設(shè)計(jì)新風(fēng)量之差，不應(yīng)超過(guò)設(shè)計(jì)新風(fēng)量的±10%。    

       c．室內(nèi)各風(fēng)口的風(fēng)量與各自設(shè)計(jì)風(fēng)量之差均不應(yīng)超過(guò)設(shè)計(jì)風(fēng)量的±15%。

二、靜壓差檢測(cè)  此項(xiàng)檢測(cè)的目的是為了測(cè)定潔凈室的靜壓差，它可以是正壓或者負(fù)壓，以防止?jié)崈羰覂?nèi)外氣流間的相互影響。

1． 檢測(cè)要求  

（1） 靜壓差的檢測(cè)要求要在潔凈室內(nèi)所有的門窗全部關(guān)閉的情況下進(jìn)行  

（2） 在潔凈平面上應(yīng)從潔凈度由高到低的順序依次進(jìn)行，一直檢測(cè)到直通室外的房間

（3） 測(cè)管口設(shè)在室內(nèi)沒(méi)有氣流影響的任何位置均可，測(cè)管口面與氣流流線平行

（4） 所測(cè)量記錄的數(shù)據(jù)應(yīng)精確到0.1Pa

2． 檢測(cè)步驟：  

（1） 先關(guān)閉所有的門窗  

（2） 用微壓計(jì)測(cè)量各潔凈室之間、潔凈室與走廊之間、走廊與外界之間的壓差。

（3） 記錄所有數(shù)據(jù)

3． 合格標(biāo)準(zhǔn)

按照潔凈室的設(shè)計(jì)和工藝的要求決定維持被測(cè)潔凈室的正壓或負(fù)壓值。  

（1） 不同等級(jí)的潔凈室或潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)（室）之間的靜壓差，應(yīng)不小于5Pa。

（2） 潔凈室（區(qū)）與室外的靜壓差應(yīng)不小于10Pa  

（3） 對(duì)于空氣潔凈度等級(jí)高于5級(jí)（100級(jí)）的單向流潔凈室在開門時(shí)，門內(nèi)0.6m處  的室內(nèi)工作面含塵濃度應(yīng)不大于相應(yīng)級(jí)別的含塵濃度極限值。  

（4） 若達(dá)不到上述要求，則需重新調(diào)整新風(fēng)量、排風(fēng)量，直至合格為止

三、潔凈度測(cè)定  《潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范》（JGJ71-90）中規(guī)定如下：

1． 檢測(cè)規(guī)則  

（1） 測(cè)定潔凈度的最低限度采樣點(diǎn)睡按下表規(guī)定確定。每點(diǎn)采樣次數(shù)不低于3次，各點(diǎn) 采樣次數(shù)可以不同

（2） 測(cè)定潔凈度的最小采樣量按下表規(guī)定確定  

（3） 對(duì)于單向流潔凈室，采樣口應(yīng)對(duì)著氣流方向；對(duì)于亂流潔凈室，采樣口宜向上。采 樣速度均應(yīng)盡可能接近室內(nèi)氣流速度。也即參考“等速采樣”  

（4） 潔凈室測(cè)點(diǎn)的布置原則是：多于5點(diǎn)時(shí)可分層布置，但每層不少于5點(diǎn)；5點(diǎn)或5 點(diǎn)以下時(shí)，可布置在離地面0.8m高平面的對(duì)角線上（如下圖），或該平面上的兩個(gè)過(guò)濾器之間的地點(diǎn)，也可以在人為需要布點(diǎn)的其他地方。

2． 數(shù)據(jù)整理  室內(nèi)潔凈度按公式計(jì)算室平均含塵濃度N和各測(cè)點(diǎn)平均含塵濃度的標(biāo)準(zhǔn)誤差  

3． 評(píng)定標(biāo)準(zhǔn)如測(cè)定的狀態(tài)（空態(tài)、靜態(tài)、動(dòng)態(tài)）與事先約定的狀態(tài)相同，則以其級(jí)別上限 作為評(píng)定標(biāo)準(zhǔn)。

　　如測(cè)定時(shí)為空態(tài)或靜態(tài)，則動(dòng)態(tài)時(shí)粒子數(shù)一定會(huì)高。所以，如用靜態(tài)檢測(cè)代替動(dòng)態(tài)檢測(cè)則粒子數(shù)會(huì)偏小，有時(shí)可以用靜態(tài)粒子數(shù)的3-5倍來(lái)估計(jì)動(dòng)態(tài)情況。當(dāng)然這也僅是經(jīng)驗(yàn)參考值

4． 注意事項(xiàng)  測(cè)定時(shí)進(jìn)入潔凈室的人員要穿潔凈服（有風(fēng)淋室要經(jīng)過(guò)風(fēng)淋），在室內(nèi)盡量處于下風(fēng)處，最多進(jìn)入兩人。  

　　粒子計(jì)數(shù)器一般均有一個(gè)開機(jī)后預(yù)熱穩(wěn)定的過(guò)程（時(shí)間因機(jī)型而異）注意按儀表說(shuō)明書操作。  

　　一般粒子計(jì)數(shù)器均有“粒子校準(zhǔn)”這一旋鈕，在使用前必須校準(zhǔn)，使用一段時(shí)間（例如連續(xù)使用0.5-1h）后均需進(jìn)行檢查。嚴(yán)禁故意將靈敏度調(diào)低的不正當(dāng)做法  每個(gè)測(cè)點(diǎn)測(cè)完后需要移機(jī)（或移動(dòng)采樣口）時(shí)，要有一個(gè)穩(wěn)定過(guò)程，一般為1-5分鐘，也可以將移機(jī)后前幾次打印結(jié)果棄去。  

　　有研究結(jié)果表明打印機(jī)本身的動(dòng)作有一定的產(chǎn)塵量，故在測(cè)量高級(jí)別潔凈室時(shí)，要考慮到打印機(jī)紙張發(fā)塵的影響。建議選取可存儲(chǔ)數(shù)據(jù)的儀器，實(shí)驗(yàn)結(jié)束后再把結(jié)果打印出來(lái)；或?qū)⑦B線延長(zhǎng)，將打印機(jī)置于被測(cè)潔凈室外。  在粒子計(jì)數(shù)器中反應(yīng)得粒徑，知識(shí)“光散射等效粒徑”，因?yàn)橛?jì)數(shù)器時(shí)用潔凈大氣塵密度的聚苯乙烯小球（標(biāo)準(zhǔn)粒子）來(lái)標(biāo)定的。所以在實(shí)例中凡是與某種直徑標(biāo)準(zhǔn)粒子的光散射特性相同的灰塵就被記錄為該粒徑的粒數(shù)，而不能真正代表該灰塵的真實(shí)外形和理化性能，而這個(gè)方面，還得在采樣后靠顯微鏡（電子顯微鏡）和微量（痕量）理化分析來(lái)解決。  

　　目前的粒子計(jì)數(shù)器都存在一個(gè)“上限濃度”的問(wèn)題，由于儀器本身構(gòu)造的原因，如抽氣流速過(guò)大，會(huì)有可能兩個(gè)或多個(gè)粒子同事進(jìn)入散射光區(qū)域，此時(shí)會(huì)合并基礎(chǔ)一個(gè)粒徑偏大的粒子，從而造成測(cè)量的重疊誤差。如實(shí)測(cè)環(huán)境含塵量超過(guò)上限濃度，則應(yīng)采用稀釋器稀釋后再測(cè)。

四、微生物粒子檢測(cè)  本實(shí)驗(yàn)室不涉及微生物粒子檢測(cè)，此處不做詳述

五、安裝高效過(guò)濾器的檢漏  高效過(guò)濾器本體在進(jìn)入現(xiàn)場(chǎng)前，生產(chǎn)廠家應(yīng)按規(guī)定對(duì)其進(jìn)行性能試驗(yàn)（其檢測(cè)方法如DOP試驗(yàn)、NaCl試驗(yàn)、油霧試驗(yàn)等），并提供合格證（含性能檢測(cè)結(jié)果）。  對(duì)于5級(jí)（100級(jí)）以上潔凈室用高效過(guò)濾器、超高效過(guò)濾器在現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)再次進(jìn)行高效過(guò)濾器本體及其正確安裝狀態(tài)進(jìn)行泄露試驗(yàn)。對(duì)于6級(jí)及以下的生物潔凈室也用此方法啊檢漏。而在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的超凈技術(shù)中（0.1μm，1級(jí)），由于新風(fēng)量往往是循環(huán)風(fēng)量的百分之幾，經(jīng)過(guò)稀釋上風(fēng)側(cè)也變成6級(jí)（1000級(jí)）的程度，因此，在這種情況下，就必須重新考慮采用DOP檢漏試驗(yàn)。

1． 檢測(cè)要求

一般采用離子計(jì)數(shù)器法進(jìn)行檢測(cè)，被檢高效過(guò)濾器必須已檢測(cè)過(guò)風(fēng)量，并在設(shè)計(jì)風(fēng)速的80%-120%之間運(yùn)行。實(shí)測(cè)時(shí)很多設(shè)計(jì)風(fēng)量不到過(guò)濾器額定風(fēng)量的80%，由于過(guò)濾器在低風(fēng)速下泄露比例會(huì)加大，數(shù)據(jù)偏安全，有時(shí)不必再加大風(fēng)量。對(duì)于被檢高效過(guò)濾器上風(fēng)側(cè)的微粒濃度符合如下要求。對(duì)于受控粒徑≥0.5μm的濃度，必須≥3.5x104pc/L;對(duì)受控粒徑≤0.5μm的濃度，必須≥3.5x106 ~ 107pc/L

2． 檢測(cè)方法  采用掃描法對(duì)高效過(guò)濾器安裝接縫和主斷面進(jìn)行檢測(cè)，檢測(cè)點(diǎn)應(yīng)距離被測(cè)表面20~30mm，測(cè)頭以5~20mm/s的速度移動(dòng)，對(duì)被測(cè)過(guò)濾器整個(gè)斷面、封膠頭和安裝框架處進(jìn)行掃描。

3． 評(píng)定標(biāo)準(zhǔn)  由受檢過(guò)濾器下風(fēng)側(cè)測(cè)得泄露的濃度換算成穿透率，高效過(guò)濾器不應(yīng)大于出廠合格穿透率的兩倍，對(duì)于D級(jí)超高效過(guò)濾器不應(yīng)大于出廠合格穿透率的3倍

六、污染泄露測(cè)試  此項(xiàng)測(cè)試時(shí)為考慮與軌跡接軌而規(guī)定的。它要求，有空洞想通不同潔凈度等級(jí)的相鄰潔凈室，其洞口處應(yīng)有合理的流向，且其風(fēng)速應(yīng)該大于0.2m/s。

七、氣流流行試驗(yàn)  

1． 測(cè)點(diǎn)位置  對(duì)于單向流潔凈室，在每個(gè)所測(cè)截面上測(cè)點(diǎn)間距為0.2~1m，垂直單向流要取四個(gè)截面：潔凈室縱剖面，橫剖面及距地0.8m、1.5m兩個(gè)水平面。水平單向流要求5個(gè)截面：潔凈室縱剖面、工作區(qū)水平面、房間中心線距離送、回風(fēng)墻0.5m的3個(gè)橫剖面。對(duì)非單向流需要取三個(gè)測(cè)點(diǎn)截面：具有代表性的送、回風(fēng)口中心的縱、橫剖面和工作區(qū)高度的水平面

2． 測(cè)定方法  用發(fā)煙器或懸掛細(xì)絲線的方法逐點(diǎn)觀察和記錄氣流流向；用量角器測(cè)定氣流流向的偏離角度。在每個(gè)截面的測(cè)點(diǎn)布置圖上標(biāo)出氣流流向。

3． 判定標(biāo)準(zhǔn)  工作區(qū)氣流流向偏離規(guī)定方向的角度最好不大于14度，應(yīng)給出氣流流型圖，并給出分析結(jié)果  八、自凈時(shí)間的測(cè)定  

1． 以大氣塵為基礎(chǔ)測(cè)量時(shí)，潔凈室必須停止運(yùn)行一段時(shí)間（條件允許可開門開窗）。 待空氣中含塵濃度與大氣接近時(shí)，然后開機(jī)，定時(shí)讀數(shù)。直到濃度達(dá)到最低穩(wěn)定值為止，這一段時(shí)間即為自凈時(shí)間。  

2． 以人工塵（例如芭蘭香和香煙）為基準(zhǔn)則在潔凈室中央1.8m以上的高度發(fā)煙1~2 分鐘即停止，再穩(wěn)定一分鐘，然后開機(jī)重復(fù)上條方法檢測(cè)。

3． 合格標(biāo)準(zhǔn)  實(shí)測(cè)自凈時(shí)間如不大于由初始濃度、穩(wěn)定下限濃度、實(shí)際換氣次數(shù)、計(jì)算得出的理論計(jì)算濃度的1.2倍即為合格。  

九、溫度及相對(duì)濕度檢測(cè)  

1． 檢測(cè)要求  

（1） 測(cè)定前，凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)連續(xù)運(yùn)行24h以上。  

（2） 根據(jù)溫度和相對(duì)濕度的波動(dòng)范圍要求，應(yīng)選擇足夠精度的測(cè)試儀表，并經(jīng)過(guò)校 驗(yàn)標(biāo)定合格  

2． 檢測(cè)方法  

（1） 測(cè)點(diǎn)距地面0.8m，距外墻應(yīng)大于0.5m，也可以根據(jù)恒溫區(qū)的大小，分別布置 在離地面不同高度的幾個(gè)平面上  

（2） 根據(jù)溫濕度波動(dòng)范圍要求，檢測(cè)應(yīng)連續(xù)進(jìn)行8~48h，每次讀數(shù)間隔不大于30 分鐘  

（3） 對(duì)于沒(méi)有恒溫要求的房間，溫度僅測(cè)房間中心一個(gè)點(diǎn)即可。  

（4） 對(duì)有濕度波動(dòng)要求的區(qū)域，測(cè)點(diǎn)應(yīng)放在送、回風(fēng)口處或有代表性的地點(diǎn)。其測(cè)

點(diǎn)數(shù)按下表確定

3． 合格標(biāo)準(zhǔn)  室溫波動(dòng)范圍按各測(cè)點(diǎn)的各次溫度中，偏差控制溫度的最大值整理成累計(jì)統(tǒng)計(jì)曲線，若90%以上測(cè)點(diǎn)偏差值在室溫控制范圍內(nèi)，為符合設(shè)計(jì)要求，反之為不合格。相對(duì)濕度波動(dòng)可按溫度波動(dòng)范圍的規(guī)定進(jìn)行。  

十、照度檢測(cè)  

1． 檢測(cè)要求  

　　室內(nèi)照度測(cè)定必須在室溫已趨穩(wěn)定，光源輸出趨于穩(wěn)定后進(jìn)行（對(duì)熒光燈必須有100h）。

2． 檢測(cè)方法  

（1） 測(cè)點(diǎn)平面離地面0.85m，按間距1~2m布點(diǎn)，測(cè)點(diǎn)距墻面1m。其要求基本與潔 凈度的測(cè)定位置要求相同  

（2） 記錄，在簡(jiǎn)圖上設(shè)測(cè)量位置，記錄實(shí)測(cè)照度值并計(jì)算總的平均照度。

（3） 照度測(cè)定一般僅測(cè)定除局部照明之外的一般照明

3． 檢測(cè)儀器：便攜式照度計(jì)

4． 合格標(biāo)準(zhǔn)  符合設(shè)計(jì)要求或符合GB50073-2001《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》中對(duì)潔凈室的照度值的明確規(guī)定（該規(guī)范中的表9.2.3）。潔凈室內(nèi)一般照明的照度均勻度不應(yīng)小于0.7. 十一、噪聲檢測(cè)  噪聲儀器為帶倍頻程分析儀的聲級(jí)計(jì)，一般情況下值檢測(cè)A聲級(jí)的數(shù)據(jù)，必要時(shí) 測(cè)倍頻程聲壓級(jí)。

1． 檢測(cè)方法  

（1） 檢測(cè)點(diǎn)布置，當(dāng)面積≤50m2時(shí)，只測(cè)房間中心一個(gè)點(diǎn)；當(dāng)房間面積較大時(shí)，每 增加50m2增測(cè)一個(gè)點(diǎn)，測(cè)點(diǎn)距離地面1.1m  

（2） 有條件時(shí)，宜測(cè)量潔凈室靜態(tài)工況的噪聲和潔凈室的本底噪聲。

2． 合格標(biāo)準(zhǔn)  符合設(shè)計(jì)要求或按《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50073-2001中的規(guī)定，在空態(tài)情況下，非單向流潔凈室的噪聲級(jí)不應(yīng)大于50dB（A），單向流、混合流潔凈室的噪聲級(jí)不應(yīng)大于65dB（A）。潔凈室的噪聲頻譜限制的各頻帶聲壓級(jí)值不應(yīng)大于《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》表4.4.2的規(guī)定。  

十二、防靜電地面導(dǎo)電性能測(cè)試  

1． 檢測(cè)設(shè)備：采用符合精度要求的高阻計(jì)  

2． 檢測(cè)方法：在測(cè)試表面上選擇比較有代表區(qū)域的兩個(gè)點(diǎn)，用導(dǎo)線把高阻計(jì)和兩個(gè)銅 圓柱形電極連接起來(lái)進(jìn)行測(cè)量，其表面電阻和泄漏電阻值可以按下圖所示的測(cè)試裝置測(cè)量。

3． 合格標(biāo)準(zhǔn)  

（1） 地面的面層應(yīng)具有導(dǎo)電性能，并能夠長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定。  

（2） 表面電阻率應(yīng)為1.0x105~1.0x1012Ω，或體積電阻率為1.0x104~10x1011Ω/cm；泄 漏電阻值應(yīng)為1.0x105~10x109Ω